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PTHC系列低溫液冷機應(yīng)用于晶圓測試的高低溫冷熱臺(晶圓測試載物臺)chuck的加熱制冷控溫,載冷劑采用硅油或氟化液循環(huán)精確控溫,液冷制冷機主要由加熱循環(huán)系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、箱體等組成。
普泰克低溫制冷機組 超低溫冷凍機在使用油擴散泵的高真空環(huán)境中都存在著一定的殘余氣體,80%以上是水蒸汽、油蒸汽及其他高沸點的蒸汽,但其抽除殘余氣體的能力低,時間長,而且所有殘余氣體還是工件的污染源,從而使產(chǎn)品的產(chǎn)量和質(zhì)量受到影響。低溫直冷機則是解決這類問題的上佳選擇。
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