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恒溫恒濕控制機

簡要描述:恒溫恒濕控制機在基板曝光前,能有效維持其表面溫度的均一性。經(jīng)過此設(shè)備處理后的空氣,溫度控制精度可達目標值±0.01℃,充分滿足制程環(huán)境對溫控的要求。該設(shè)備的應用,不僅確保了產(chǎn)線環(huán)境的穩(wěn)定,更為產(chǎn)品的高良率提供了堅實保障。

  • 產(chǎn)品型號:
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時間:2024-11-15
  • 訪  問  量:449
詳情介紹
品牌proteco/普泰克產(chǎn)地類別國產(chǎn)
應用領(lǐng)域環(huán)保,食品/農(nóng)產(chǎn)品,化工,制藥/生物制藥,綜合

【設(shè)備特點】


1、精確溫濕度調(diào)控:確保曝光機、顯影/ 涂布設(shè)備等制程良率

2、定制化風量設(shè)計:根據(jù)客戶的具體需求,定制風量,送風單元結(jié)構(gòu)均勻布置,確??諝饬魍ǖ木鶆蛐?,進一步提升制程質(zhì)量。

3、超準溫度控制:溫度控制精度高達±0.01℃,遠超行業(yè)標準,為產(chǎn)線環(huán)境提供了穩(wěn)定性,從而確保了產(chǎn)品的優(yōu)良率。


【產(chǎn)品應用】


1、溫度控制精度:±0.1℃~±0.01℃

2、濕度控制精度:±2%RH~±1%RH

3、廣泛適用領(lǐng)域:該設(shè)備廣泛應用于面板廠、晶圓廠、封裝測試廠等精密溫濕度控制領(lǐng)域,助力企業(yè)提升產(chǎn)品質(zhì)量,確保生產(chǎn)過程的穩(wěn)定與高效。





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